VHP灭菌工艺的成功实施离不开严格的验证流程。与湿热灭菌柜类似，VHP验证需结合物理参数监测与生物指示剂（BI）的使用，确保灭菌过程可追溯、可复制。常用的生物指示剂包括嗜热脂肪芽孢杆菌和枯草杆菌，其耐受性可代表最难杀灭的微生物，从而保证灭菌工艺的可靠性。

验证过程中需重点监控时间、湿度、气体浓度、温度及空间容积等关键参数，并通过D值（杀灭90%微生物所需时间）分析灭菌效率。半周期法（½ cycle）常用于验证6-log的微生物杀灭效果，确保即使在最差条件下仍能达到无菌要求。

VHP工艺的标准化不仅提升了灭菌成功率，也降低了企业因验证不充分导致的合规风险。随着全球监管要求的日益严格，采用经过验证的VHP技术将成为药企、医疗器械厂商及实验室提升质量管理水平的关键举措。